一种机台维修晶圆防护专用治具.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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一种机台维修晶圆防护专用治具.pdf

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本实用新型公开了半导体制造领域内的一种机台维修晶圆防护专用治具，包括机台，机台呈圆形，机台的中部设置有圆形晶圆容纳槽，机台表面设置有环形凹槽，机台表面经环形凹槽分隔为内盘体和外盘体，与所述机台相对应地设置有遮挡盖，所述遮挡盖呈圆形，遮挡盖的下侧设置有环形侧挡边，侧挡边向下对应嵌入所述环形凹槽内，侧挡边的底部与环形凹槽底壁留有间距，所述遮挡盖的下侧还设置有支撑组件，所述支撑组件包括若干周向间隔分布的支撑脚垫，遮挡盖的下侧设置有两个左右对称的定位脚垫，所述外盘体上开设有两个定位凹槽，两个定位脚垫伸入

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212570939 U (45)授权公告日 2021.02.19 (21)申请号 202021759705.9 (22)申请日 2020.08.21 (73)专利权人江苏汇成光电有限公司