掩膜版及蒸镀装置.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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掩膜版及蒸镀装置.pdf

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本申请提供了一种掩膜版和蒸镀装置，该掩膜版包括：框架；多个支撑条和多个掩膜条，平行间隔设置于框架的第一表面，且相邻支撑条之间设置有一个掩膜条；其中，支撑条远离框架一侧表面的面积小于其靠近框架一侧表面的面积；掩膜条远离框架一侧表面的面积大于其靠近框架一侧表面的面积；支撑条邻近掩膜条的边缘设置有第一台阶部，第一台阶部包括与第一表面平行的第一台阶面；掩膜条邻近支撑条的边缘设置有第二台阶部，第二台阶部包括与第一表面平行的第二台阶面；第二台阶面与第一台阶面搭接，且支撑条远离框架的一侧表面高于掩膜条。通过上

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112176282 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 202010880995.0 (22)申请日 2020.08.27 (71)申请人合肥维信诺科技有限公司