多设备联用的三维原子探针样品通用接口装置.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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多设备联用的三维原子探针样品通用接口装置.pdf

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本发明公开了一种多设备联用的三维原子探针样品通用接口装置，包括针尖样品支撑台、普通样品台匹配台和样品转接部分，所述针尖样品支撑台安装在普通样品台匹配台上，样品转接部分对普通样品台匹配台进行固定。用于扫描电子显微镜、EBSD‑TKD、透射电子显微镜、聚焦离子束、三维原子探针等显微组织分析仪器的联用。本发明利用多种显微组织分析原有的普通样品台实现对三维原子探针针尖样品的透射电镜分析、扫描电镜分析、聚焦离子束、EBSD或TKD分析。本发明装置结构简单，便于加工和维护，成本极低，可在透射电子显微镜内实现

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112782198 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 202011428090.6 H01J 37/28 (2006.01) (22)申请日 2