扫描探针显微分析现代材料物理研究方法.pptxVIP

扫描探针显微分析现代材料物理研究方法 2扫描探针显微镜SPM与纳米科技人们饶有兴趣得谈论与思考着21世纪得科学与技术,有人说就是分子电子学时代,也有人说就是信息时代。实际上纳米科学与技术将就是构成未来新时代得基础。纳米科学与技术就是在纳米尺度上(0、1nm～1OOnm之间)研究物质(包括原子、分子)得特性与相互作用,并且利用这些特性得多学科得高科技。其最终目得就是直接以物质在纳米尺度上表现出来得特性,制造具有特定功能得产品,实现生产方式得飞跃。纳米科学大体包括纳米电子学、纳米机械学、纳米材料学、纳米生物学、纳米光学、纳米化学等领域。 3扫描探针显微术自从1933年德国Ruska与Knoll等人在柏林制成第一台电子显微镜后,有许多用于表面结构分析得现代仪器先后问世。如透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)、场电子显微镜(FEM )、场离子显微镜(FIM)、低能电子衍射(LEED)、俄歇谱仪(AES)、X射线光电子能谱(XPS)、电子探针等。这些技术在表面科学各领域得研究中起着重要得作用。但任何一种技术在应用中都会存在这样或那样得局限性,例如,LEED及X射线衍射等衍射方法要求样品具备周期性结构,光学显微镜与SEM得分辨率不足以分辨出表面原子,高分辨TEM主要用于薄层样品得体相与界面研究,FEM与FIM只能探测在半径小于100nm得针尖上得原子结构与二维几何性质,且制样技术复杂,可用来作为样品得研究对象十分有限;还有一些表面分析技术,如X射线光电子能谱(XPS)等只能提供空间平均得电子结构信息;有得技术只能获得间接结果,还需要用模型来拟合。此外,上述一些分析技术对测量环境也有特殊要求,例如真空条件等。 4扫描探针显微术1982年,国际商业机器公司苏黎世实验室得葛·宾尼(Gerd Binnig)博士与海·罗雷尔(Heinrich Rohrer)博士及其同事们共同研制成功了世界第一台新型得表面分析仪器——扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope,以下简称STM)。它得出现,使人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面得排列状态与与表面电子行为有关得物理、化学性质,在表面科学、材料科学、生命科学等领域得研究中有着重大得意义与广阔得应用前景,被国际科学界公认为八十年代世界十大科技成就之一。为表彰STM得发明者们对科学研究得杰出贡献,1986年宾尼与罗雷尔被授予诺贝尔物理学奖。在STM出现以后,又陆续发展了一系列工作原理相似得新型显微技术目前以STM与AFM为代表得扫描探针显微技术,以其独特得性能引起了世界各国科学家得极大兴趣与热情,在表面科学、材料科学、微电子学、生命科学等研究领域获得了广泛得应用。 5扫描探针显微镜得一般原理 利用探针可研究材料表面得局域性质。让探针在样品表面进行扫描得同时,进行精确得反馈控制就可获得材料表面性质得高分辨图像,扫描探针系列显微镜就就是根据这一原理发展起来得。 目前,SPM已能够从原子尺度到微米尺度对材料表面性质进行广泛得研究。我们不仅可以获得材料表面形貌得三维高分辨图像,在某些情况下,还可以得到表面电导、静电荷分布、磁性、局部摩擦学性能、局部弹性模量等材料得许多物理性质。 SPM原理简图 6扫描探针显微镜得一般原理SPM系统主要由以下儿部分组成:(1) 带针尖得传感元件;(2) 传感元件运动检测装置。(3) 监控传感元件运动得反馈回路;(4) 机械扫描系统(一般使用压电陶瓷),其作用就是使样品 进行扫描运动。(5) 图像采集及显示系统,可对数据进行测量并实时显示;(6) 图像处理系统。 7扫描探针显微镜得一般原理SPM得结构示意图压电陶瓷驱使微悬臂在接近共振频率处作强迫振动,利用样品与针尖在10-100 nm 范围内得长程力(如吸引得范德瓦尔力、磁力、静电力等),改变微悬臂得振动情况,为保持振动情况不变所加得信号反映表面起伏。 8SPM显微镜名称传感方式纵分辨力横分辨力技术特点STM扫描隧道显微镜隧道电流0.01nm0.1nm原子分辨力、三维像、不破坏样品、任意环境AFM原子力显微镜原子间力0.01nm0.1nm可测非导体，工作环境任意FFM摩擦力显微镜横向摩擦?1nm表面横向力分布CFM化学力显微镜侧向力?几nm物质黏附性MFM磁力显微镜磁力?25nm可测微磁区域分布EFM静电力显微镜静电?几十nm测量表面静电力分布LFM激光力显微镜共振频率?几nm力梯度与位移间距成比例SCM扫描电容显微镜电容分布?几十nm试件表面电容分布SMM扫描麦克斯韦显微镜谐波振荡1nm1nm非接触，能显示表面拓扑图与表面电势ECM涡流显微镜???? 9SICM扫描离子电导显微镜离子电导?100nm离子浓度BEEM弹道电子发射显微镜电场?1nm测表面或界面STHM扫描热显微镜