一种基板式碳纳米管制备设备.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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一种基板式碳纳米管制备设备.pdf

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本实用新型公开了一种基板式碳纳米管制备设备，本实用新型所述基板式碳纳米管制备设备在腔体中，利用石英匀气管堵制造一个恒温热场，将倾斜式沉积基板置于加热炉温区中间，加热炉升温的同时通入大量惰性气体，利用进气预热炉将惰性气体加热与三温区加热炉同步，防止大量惰性气体洗气时低温容易破坏试验热场，加热炉温度达到实验温度时，利用通气导管通入碳源气体，石英匀气管堵底部均匀输出碳源气体，通过高温度下使含碳化合物裂解为碳原子，碳原子在过渡金属‑催化剂的作用下，均匀高效地附着在催化剂微粒表面上形成碳纳米管，且通过滑动

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212609576 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202021070696.2 (22)申请日 2020.06.11 (73)专利权人合肥百思新材料研究院有限公司