一种自动化晶圆切割定位装置.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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一种自动化晶圆切割定位装置.pdf

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本实用新型公开了一种自动化晶圆切割定位装置，包括支撑座，所述支撑座的中部固定连接有固定座，所述固定座和支撑座之间滑动贯穿有支撑柱，所述支撑柱的下端与伸缩气缸的输出端固定连接，所述第一扩展板套设在真空陶瓷吸盘本体的周围。该装置可根据不同尺寸大小的工件选用适应尺寸的第一扩展板或第二扩展板进行稳固支撑，同时通过真空陶瓷吸盘本体进行定位固定，使用灵活，通过调节杆、弹簧、滑槽、固定杆、固定板和支撑板的配合作用，带动第一扩展板或第二扩展板与真空陶瓷吸盘本体进行同步升降，即方便调节晶圆工件高度，操作简单更换方

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212599705 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202020978522.X (22)申请日 2020.06.02 (73)专利权人无锡市空穴电子科技有限公司