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一种用于三维力探针传感器的接触探针.pdfVIP

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  • 2023-02-16 发布于四川
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一种用于三维力探针传感器的接触探针.pdf

    本实用新型涉及半导体器件的测试领域，特别涉及一种用于三维力探针传感器的接触探针。接触探针整体由底座、探杆、底座和探杆之间的过渡圆台和探头组成，底座为一圆柱体，直立在传感器表面上，于传感器表面紧密相连；底座上段逐渐缩小呈圆台状，底座、探杆、和过渡圆台的材质均为钛合金；探杆顶端装有探头，探头用来与被测物接触，且探头由红宝石制成，以此使得该探针测量精度体高，使用寿命长，抗干扰能力增强。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212621208 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202021436757.2 (22)申请日 2020.07.21 (73)专利权人 明石创新（烟台）微纳传感技术研

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