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一种氮化镓生产尾气处理用快接管线.pdfVIP

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  • 2023-02-16 发布于四川
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一种氮化镓生产尾气处理用快接管线.pdf

    本实用新型涉及一种氮化镓生产尾气处理用快接管线，属于氮化镓生产技术领域。快接管线包括过滤器和真空泵，过滤器的进气端通过硬质管线连接氮化镓生长炉的出气管，真空泵的进气端连接有第一三通管，第一三通管的进气端通过第一波纹管与所述过滤器的出气端连接，第一三通管连接真空泵，并设置有第一电动开关阀，第一三通管连接第二波纹管并设有第二电动开关阀，第二波纹管的另一端通过第二三通管连接尾气回收装置，真空泵的出气端通过第三电动开关阀连接第二三通管，各管口对接处分别通过快接件进行紧固连接。通过设置真空泵、两段三通管及

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212616872 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202021415237.3 (22)申请日 2020.07.17 (73)专利权人 山东科恒晶体材料科技有限公司

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