一种N型硅片的性能评估系统.pdfVIP

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2023-02-17 发布于四川
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本实用新型公开了N型硅片的性能评估系统，包括输送单元、第一测试单元、第二测试单元、及控制处理单元，控制处理单元用于发送第一输送信号至输送单元；输送单元用于根据第一输送信号将n个硅片样品输送至第一测试单元；第一测试单元用于测试n个硅片样品的少子寿命；控制处理单元还用于根据n个少子寿命测试信息发送第二输送信号至输送单元；输送单元还用于根据第二输送信号将n个硅片样品中有效的m个硅片样品继续输送至第二测试单元；第二测试单元用于测试m个硅片样品的电阻率；控制处理单元还用于根据测试结果进一步对N型硅片性能进

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212625493 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202022256178.6 (51)Int.Cl.