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- 2023-02-17 发布于四川
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本实用新型公开一种光阻液浸涂设备，用来于一金属滚轮的外表面上浸涂一光阻液。光阻液浸涂设备包含：一滚轮固定装置，用来固定金属滚轮；一浸涂装置，用来容纳光阻液；一移动装置，用来使滚轮固定装置与浸涂装置相对地移动，以使浸涂装置能用来将其所容纳的光阻液浸涂于金属滚轮的局部外表面；以及一转动装置，用来选择性地以一涂布速度以及一薄化速度转动金属滚轮，并且转动装置能用来在外表面均匀涂布有光阻液且离开浸涂装置内的光阻液时，以薄化速度转动金属滚轮而薄化外表面的光阻液的厚度。通过应用光阻液浸涂设备，能使后续形成于金
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212647259 U
(45)授权公告日 2021.03.02
(21)申请号 202021667614.2
(22)申请日 2020.08.12
(73)专利权人 光群雷射科技股份有限公司
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