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- 2023-02-17 发布于四川
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本申请公开了一种补片装置，包括用于承接花篮的花篮上料机构、能够检测花篮内是否缺片的缺片检测机构、以及能够对缺片位置进行补片的补片机构；缺片检测机构能够检测花篮内是否缺片，以便于补片机构向缺片的卡槽供入假片；通过设置补片装置，能够确保每一上料的花篮中片齐全。本申请还公开了一种扩散设备，包括上述补片装置，还包括配对装置和中转装置；配对装置能够提取花篮内的硅片或者假片，并将这些片两两配对；中转装置中，任一中转槽内的片为一组；后续对硅片进行扩散处理时，由于一组配对的片贴合在一起，二者贴合的面被彼此遮挡、
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212648192 U
(45)授权公告日 2021.03.02
(21)申请号 202021718000.2
(22)申请日 2020.08.18
(73)专利权人 无锡先导智能装备股份有限公司
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