原创力文档- 5
- 0
- 约6.01千字
- 约 7页
- 2023-02-17 发布于四川
- 举报
本实用新型公开了一种可自动插片的菱形石英舟，包括限位齿槽、连接挡板、固定板、侧垫、插片机、自动安插杆以及顶板，所述限位齿槽设置于连接挡板的左侧，所述连接挡板设置于固定板的左侧，所述侧垫设置于固定板的上下两端，所述插片机通过自动安插杆固定设置于固定板的右侧，所述顶板设置于插片机的右侧，使用时，通过限位齿槽的内部设置的矫正感应器进行精确对位硅片，利用插片机实现了石英舟可以自动化插片，不需要在进行手工插片，同时上下两侧的侧垫保护硅片，提高自动插片的使用安全度。本实用新型可以通过插片机部件实现自动化插片
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212648200 U
(45)授权公告日 2021.03.02
(21)申请号 202021712311.8
(22)申请日 2020.08.17
(73)专利权人 浙江泓芯半导体有限公司
文档评论（0）