一种靶材清洗装置.pdfVIP

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2023-02-17 发布于四川
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一种靶材清洗装置.pdf

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本实用新型公开了一种靶材清洗装置，包括清洗箱和滚筒，所述清洗箱的内壁固定有隔板，所述滚筒的两端均固定有柱形杆，两个所述柱形杆均通过轴承与清洗箱内壁转动连接，所述清洗箱的侧壁固定有电机，所述电机的主轴贯穿至清洗箱内部并与柱形杆端部固定，所述隔板的底部固定有固定块，所述固定块的内底部设置有多个喷头，所述固定块的内壁插设有多个注水管，所述隔板的上端设置有烘干装置。本装置中，利用可转动的滚筒，能够在喷头对靶材进行冲洗过程中，能够实现靶材在滚筒内的翻转，从而可便于保证喷头喷出的水分对靶材表面的完全冲洗，可

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218475668 U (45)授权公告日 2023.02.14 (21)申请号 202222333224.7 (22)申请日 2022.09.02 (73)专利权人河南东微电子材料