原创力文档- 2
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- 2023-02-17 发布于四川
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本实用新型公开了一种磷化铟晶片退火装置，包括柱状罐体、密封盖和晶片台；柱状罐体、密封盖和晶片台所用材质均为石英；柱状罐体的顶部由密封盖密封；柱状罐体内侧壁上设有沿周边设置的支撑凸块，晶片台周边设有支撑耳，晶片台通过支撑耳水平放置在柱状罐体内的支撑凸块上；晶片台上表面设有一个以上的弧形凹坑，每个弧形凹坑均沿周边设有环形支撑台阶，环形支撑台阶上设有沿宽度方向设置的通槽。本实用新型磷化铟晶片退火装置，结构简单，容易制作、操作方便，彻底解决了晶片竖立放置的形变问题，同时有效解决了退火后晶片正面与背面表面
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212648204 U
(45)授权公告日 2021.03.02
(21)申请号 202021794889.2
(22)申请日 2020.08.25
(73)专利权人 中锗科技有限公司
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