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应用狭缝波导结构的倾斜光栅式偏振分束器.pdfVIP

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  • 2023-02-17 发布于四川
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应用狭缝波导结构的倾斜光栅式偏振分束器.pdf

    本实用新型公开了应用狭缝波导结构的倾斜光栅式偏振分束器，包括：硅基衬底；沉积在所述硅基衬底上的二氧化硅缓冲层；位于所述二氧化硅缓冲层上的TE直通段芯层；位于所述二氧化硅缓冲层上的TM耦合段芯层；位于所述二氧化硅缓冲层上，并包覆所述TE直通段芯层和所述TM耦合段芯层的二氧化硅包层。整体结构尺寸小且紧凑、耦合效率高、消光比高、插入损耗低且带宽大。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212647048 U (45)授权公告日 2021.03.02 (21)申请号 202022255481.4 (22)申请日 2020.10.12 (73)专利权人 苏州科沃微电子有限公司

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