XX蚀刻机评估报告.docVIP

一、蚀刻机质量性能考证的方法及过程 1. 蚀刻均匀性测试 板件选用： 用底铜厚度 2OZ( 面铜仪丈量 62um) ，板厚 1.6mm ，尺寸：500mm*600mm 测试前，蚀刻药水调整蚀刻药水到工艺控制范围  板件为实验板件。 剖析项目 Cu2+ Cl- PH 蚀刻生产参数 蚀刻速度 4m/min  要求范围 125-150g/L 170-200g/L 压力 上压： 下压：  温度 50 ℃  实测 142g/L 180g/L 测试方法与取点规则，见附件： 蚀刻均匀性计算方法与判断标准： ⑴、蚀刻均匀度×100% 此中：th（蚀铜量）=原始铜厚-节余铜厚 Th （均匀蚀铜量）=（th1+th2+thN）/N（N=121 ） S （标准差）=?[(th-th2+(th-th)2+··+(th-th)2]/ N-1 ） ) （ 1 2 N ⑵、判断标准：COV ?92% 为合格； 工程部制作线宽线距为 8mil/8mil 的菲林资料 3.蚀刻因子 3mil/3mil 、4mil/4mil 、5mil/5mil 、6mil/6mil 、7mil/7mil 、 经过图形转移来测试新蚀刻机的最小线宽线距蚀刻能力 板件选用：取底铜 1.0OZ 板件为实验板件； 测试取点，分别打密集线路和孤立线路的表面铜厚和线宽测定切片。 X1 h X2 丈量方法 线路铜厚为 h，读取切片线宽上底为 X 1，与此同时线宽下底记录为 X 2，蚀刻因子计算 公式为： 蚀刻因子（A ）=h/(X2-X1) 蚀刻因子的判断标准：1OZ 的板件?2 4.蚀刻机的规格 蚀刻机的流程是蚀刻氨水洗两道水洗 蚀刻段为 3 段，总合 3 米。 二、测试结果 1.蚀刻线均匀性测试结果： 板厚为，底铜厚度为 1OZ 的板件最小线宽线距的蚀刻能力是 5mil/5mil 3. 蚀刻因子测试结果 上喷 速度 铜厚（h） 上底（X ） 下底（X ） 误差 蚀刻因子 1 2 5mil 6mil 4m/min 7mil 8mil 均匀值 下喷 速度 铜厚（h） 上底（X ） 下底（X ） 误差 蚀刻因子 1 2 5mil 6mil 4m/min 7mil 8mil 均匀值 三、结论 经过以上数据可得出初步结论 1. XX 蚀刻机的蚀刻均匀性能适应企业后续难度板件的要求，可是从结果来看上喷与下喷的 蚀刻均匀性相差较大,这与蚀刻生产时的压力有很大关系； 2. XX 蚀刻机的最小线宽线距的蚀刻能力为 5mil/5mil ，基本可以合适企业的生产质量要求； 3. XX 的蚀刻机经过做蚀刻因子 1OZ 的板件蚀刻因子可以达到最小（要求?2），可以知足生产 质量要求。