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本公开的各实施例涉及电荷平衡功率器件。电荷平衡功率器件，包括具有第一导电类型的半导体主体。沟槽栅极在半导体主体中从第一表面向第二表面延伸。主体区域具有与第一导电类型相反的第二导电类型，并且主体区域面对半导体主体的第一表面并且在沟槽栅极的第一侧和第二侧上延伸。具有第一导电类型的源极区域在主体区域中延伸并且面对半导体主体的第一表面。漏极端子在半导体主体的第二表面上延伸。器件还包括具有第二导电性的第一柱状区域和第二柱状区域，其在半导体主体中与沟槽栅极的第一侧和第二侧相邻地延伸，并且第一柱状区域和第二柱
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212676274 U
(45)授权公告日 2021.03.09
(21)申请号 202021557669.8
(22)申请日 2020.07.31
(30)优先权数据
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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