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- 2023-02-18 发布于北京
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本公开的实施例涉及用于处理腔室的面板。在一个示例中，面板包括主体，主体具有穿过主体形成的多个孔。加热组件设置在主体内，并且加热组件环绕多个孔。支撑环设置在主体中。支撑环环绕加热组件。支撑环包括主要体和从主要体径向向内延伸的悬臂。悬臂接触面板的主体。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115702259 A
(43)申请公布日 2023.02.14
(21)申请号 202180042781.9 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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