一种晶圆贴膜机贴膜张力装置.pdfVIP

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2023-02-18 发布于四川
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一种晶圆贴膜机贴膜张力装置.pdf

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本实用新型提供一种晶圆贴膜机贴膜张力装置，包括膜供给端、传动辊组、支撑杆、膜张力调节轴和张力传感器，沿着膜供给端的出膜方向上依次设置有传动辊组，位于传动辊组的出膜方向上安装有一号导向辊，一号导向辊通过固定块和支撑杆固定在机架上，支撑杆上设置有张力传感器，一号导向辊的出膜方向上设置有压合滚轴将膜与晶圆贴合；张力传感器将信号传输至控制器，控制器预设张力大小，并将控制信号传输给膜张力调整系统中的伺服系统。本实用新型通过对膜张力的控制来改善倒装焊接工艺中的碎片问题以及隐形切割工艺中的边角碎裂等品质问题，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212687076 U (45)授权公告日 2021.03.12 (21)申请号 202020629883.3 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2