电容式微位移测量仪的设计.pdf

哈尔滨理工大学学士学位论文 电容式微位移测量仪的设计 摘 要 在工业计量中有很多需要检测的参数与位移量的变化有关，如力、流 量、温度、速度、振动、密度、粘度等。所以位移的测量在工业甚至其他 一些领域显得尤为重要，而电容测微仪作为一种非接触式的，能够精确测 量微小相对位移、微振动和微小尺寸的仪器，具有温度稳定性好、测量范 围大、测量精度高、动态响应好、结构简单等一系列优点，它的相对变化 量大，能在特