一种用于干法刻蚀的硅片夹具.pdfVIP

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2023-02-20 发布于四川
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一种用于干法刻蚀的硅片夹具.pdf

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本实用新型公开了一种用于干法刻蚀的硅片夹具，包括底板、压板，所述底板四周设有定位件，所述定位件上设有定位孔，直线导轨固定安装在定位孔内；所述压板上设有穿过压板的T型套筒和压紧机构，所述压紧机构包括支撑柱、第一固定件、套筒、第二固定件、第一连接件、移动件、压杆和活动杆。本实用新型结构简单、操作方便、降低劳动强度、提高工作效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212695119 U (45)授权公告日 2021.03.12 (21)申请号 202021645346.4 (22)申请日 2020.08.10 (73)专利权人江苏斯米克电子科技有限公司