原创力文档- 1
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- 2023-02-20 发布于四川
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本实用新型涉及半导体芯片烘干领域，公开了一种可有效避免污染的半导体芯片烘干装置，包括烘干箱和集尘袋；所述烘干箱内部两侧水平开设有滑槽A，所述滑槽A的数量为三组，所述滑槽A内活动安装有活动架，所述活动架顶部设有烘干座，所述烘干座的数量为多组；所述烘干箱内部中部两侧垂直开设有滑槽B，所述滑槽B内活动安装有挡板，所述烘干箱右端通过合页活动安装有箱门。本实用新型通过活动架位于滑槽A内移动置烘干箱内部右侧，再关闭挡板，再开启箱门即可实现半导体芯片的摆放或取出，而活动架移动置烘干箱内部左侧或者右侧时及时关闭
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212720498 U
(45)授权公告日 2021.03.16
(21)申请号 202021110736.1
(22)申请日 2020.06.16
(73)专利权人 涌
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