一种电子级AHF气体多级过滤器.pdfVIP

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  • 2023-02-20 发布于四川
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本实用新型公开了一种电子级AHF气体多级过滤器,包括分离塔,所述分离塔右侧的底部固定连接有第一输气管,第一输气管的中部安装有第一密封阀,分离塔底部的左侧固定连接进气管,进气管的中部安装有单向阀,分离塔顶部的左侧固定连接有第二输气管,第二输气管的中部安装有第二密封阀,分离塔的内腔设置有聚集碗,聚集碗顶部的正中设置有分离膜,分离膜的顶部设置有压环,聚集碗的中部套接有吸尘管,吸尘管顶部的两侧对称固定连接有支撑架。本实用新型所述的一种电子级AHF气体多级过滤器,通过第一输气管为分离塔内部输送AHF气体,

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212701057 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202021120992.9 (22)申请日 2020.06.17 (73)专利权人 福

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