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一种靶材组件.pdfVIP

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  • 2023-02-20 发布于四川
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一种靶材组件.pdf

    本实用新型公开了一种靶材组件，包括背板和靶材组，背板设有位于中部的凸起部和两侧的平整部，靶材组包括设于凸起部的第一子靶材和设于平整部上的第二子靶材；第一子靶材和第二子靶材的上表面保持平齐；背板的焊合表面设有低熔点的第一焊料层，靶材组的焊合表面从内到外依次设有等离子喷涂界面层和低熔点的第二焊料层，背板远离靶材的一面设置有承载板，导磁片设置在第二子靶材与承载板对应的位置。本实用新型通过设置导磁片以及具有凸起部和平整部的背板，从而使得第一子靶材与第二子靶材消耗速度的差距处于一定的范围内，从而延长矩形平

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212713731 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202021279910.5 (22)申请日 2020.07.02 (73)专利权人 苏州精美科光电材料有限公司

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