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2023-02-20 发布于四川
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基板处理装置.pdf

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本实用新型提供一种基板处理装置。在具有多个处理单元的基板处理装置中减少向各处理单元供给的清洁的空气的温度、湿度的单元间差异。一种基板处理装置，其具有多个处理基板的处理单元，其中，该基板处理装置具有向所述处理单元供给空气的多个管道，在各所述管道具有连结该管道和空气的供给源的连接管，所述多个管道连接有数量互不相同的所述处理单元，所述管道内的空气的流速和经由所述连接管向所述管道供给的空气的流速中的至少任一者在所述管道之间相等。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212694247 U (45)授权公告日 2021.03.12 (21)申请号 202021909494.2 (22)申请日 2020.09.04 (30)优先权数据 2019-1665