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一种用于MSAP-IC载板的全自动连线射频等离子蚀刻机.pdfVIP

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  • 2023-02-20 发布于四川
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一种用于MSAP-IC载板的全自动连线射频等离子蚀刻机.pdf

    本实用新型公开了一种用于MSAP‑IC载板的全自动连线射频等离子蚀刻机，主要包括外框、控制器、真空管、供气管、滑架、端架和电极板，所述外框前侧转动安装有前门，所述外框右侧转动安装有侧门，所述外框右侧上部固定安装有转接套，转接套中部转动安装有中杆，中杆上部外壁固定安装有限位座，所述转接套内侧转动安装有与限位座配合的端套，所述中杆底端固定安装有控制器，控制器顶端右部固定安装有警报灯。本实用新型在结构上设计合理，通过旋转螺杆配合旋向相反的螺套使得滑架相互靠近和远离，配合不同尺寸的电极板，可以适应不同尺

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212725224 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202021053552.6 (22)申请日 2020.06.09 (73)专利权人 珠海安普特科技有限公司

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