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一种微波等离子蚀刻机.pdfVIP

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  • 2023-02-20 发布于四川
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一种微波等离子蚀刻机.pdf

    本实用新型公开了一种微波等离子蚀刻机，主要包括外框、供气泵、负极板、Y轴滑台、X轴滑台、Z轴滑台、电磁阀和正极板，所述外框内侧中部嵌设固定安装有左右对称的Z轴滑台，Z轴滑台上方装配滑动安装有滑板，滑板顶端固定安装有X轴滑台，X轴滑台顶端侧壁滑动装配有Y轴滑台，Y轴滑台相对一侧装配安装有左右对称的气管，气管底端开口处固定安装有滑套，滑套内侧滑动安装有吸盘。本实用新型在结构上设计合理，内部结构灵活，可以实现自动的上下料，且柔性结构保证产品的搬运稳定安全，避免下落距离过长造成损坏，设备的结构紧凑，配气

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212725237 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202021053613.9 (22)申请日 2020.06.09 (73)专利权人 珠海安普特科技有限公司

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