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- 2023-02-20 发布于四川
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本实用新型公开了一种化学气相沉积装置用水蒸气注入结构，包括底板、腔室和箱体，所述底板顶端的一侧固定连接有腔室，所述底板顶端的另一侧固定连接有箱体，所述腔室内部的底端固定连接有壳体，所述壳体的顶端均设置有出气管，所述壳体的内部设置有过滤结构，所述壳体内部的底端贯穿有通气管，所述箱体的内部设置有净化结构。本实用新型通过在过滤结构的内部依次设置有滤网、除尘板、连接块和连接座，使用时，水蒸气进入壳体的内部，向上方流动时，先经由除尘板处，除尘板对空气中产生的灰尘进行过滤，并且在除尘板的上方设置有滤网，滤网
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212701208 U
(45)授权公告日 2021.03.16
(21)申请号 202021176661.7
(22)申请日 2020.06.23
(73)专利权人 杭州英希捷科技有限责任公司
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