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一种多种气体混配供应装置.pdfVIP

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  • 2023-02-20 发布于四川
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一种多种气体混配供应装置.pdf

    本实用新型公开了一种多种气体混配供应装置，涉及气体混配领域，包括配气阀箱和安装板,所述配气阀箱内设有安装板，所述安装板的顶面设有低压手动隔膜阀、低压气动隔膜阀、单向阀A、单向阀B、过滤器、氨气纯化器、氮气纯化器、氢气纯化器、氯化氢纯化器、混合气纯化器、氨气质量流量控制器、氮气质量流量控制器、氢气质量流量控制器、氯化氢质量流量控制器、混合气质量流量控制器A和混合气质量流量控制器B,所述氨气纯化器的底端通过管道与氨气质量流量控制器固定连接，本实用新型采用气体质量流量计进行体积配比，严格控制配比浓度，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212701398 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202021284827.7 (22)申请日 2020.07.04 (73)专利权人 深圳融科科技有限公司

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