1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种硅片抛光治具.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约6.55千字
  • 约 8页
  • 2023-02-21 发布于四川
  • 举报

一种硅片抛光治具.pdf

    本实用新型提供一种硅片抛光治具，其特征在于，包括：基座，其具有一支撑面；调节单元，其可沿所述基座的径向定向滑动式的设置于所述基座上，所述调节单元包括一固定单元，所述固定单元将所述调节单元固定于所述基座上；以及微调单元，其设置于所述调节单元上，所述微调单元包括夹紧块及微调螺栓，所述微调螺栓穿设过所述调节单元，并与所述夹紧块螺纹连接。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212735527 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021371093.6 (22)申请日 2020.07.14 (73)专利权人 浙江森永光电设备有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >