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- 2023-02-21 发布于四川
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本实用新型公开了一种真空镀膜机可拆卸PlASMA电极，包括电极本体，所述电极本体上开设有环形槽，所述环形槽内滑动连接有环形板，所述环形板的外侧壁固定安装有套管，所述电极本体上开设有两个滑槽，两个所述滑槽内均设有阻挡机构，两个所述阻挡机构均延伸至环形槽内并与相对的环形板地底部相抵，所述套管的侧壁设有密封机构，所述密封机构与套管的侧壁之间设有吸附机构，所述套管的侧壁固定安装有安装框，所述安装框上设有卡紧机构，所述卡紧机构贯穿密封机构并与套管的侧壁相抵紧。本实用新型结构设计合理，其能够在电极不使用时，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212741512 U
(45)授权公告日 2021.03.19
(21)申请号 202021585885.3
(22)申请日 2020.08.04
(73)专利权人 深圳市鑫科达自动化设备有限公
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