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一种晶圆固定装置及晶圆清洁系统.pdfVIP

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  • 2023-02-21 发布于四川
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一种晶圆固定装置及晶圆清洁系统.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆固定装置及晶圆清洁系统，包括底座、旋转台和真空发生装置；所述旋转台可转动的设置在所述底座上；所述旋转台上设有多个连通的导气槽和凸台；所述导气槽与所述真空发生装置连通，晶圆设置在所述凸台上，所述真空发生装置通过在所述导气槽中产生吸附气流，将所述晶圆固定在所述凸台上，通过真空吸附方式将晶圆吸附在旋转台上，避免了人工的接触，从而避免晶圆发生裂片和表面被沾污，同时也能处理晶圆背面的水分，并进行收集处理，保证了晶圆避免水分干燥的全面性，通过旋转台的设置，可以提高晶圆表面的清洁率，减

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212750845 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021526559.5 (22)申请日 2020.07.23 (73)专利权人 宁波芯健半导体有限公司

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