1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

去边机.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约6.93千字
  • 约 9页
  • 2023-02-21 发布于四川
  • 举报

去边机.pdf

    本实用新型提供了一种去边机，包括主动机构以及从动机构，主动机构包括压片盘，从动机构包括载片台，压片盘与载片台相对设置，压片盘与载片台之间形成用于固定晶圆的容纳空间；压片盘远离载片台一侧与旋转驱动电机的输出轴连接，载片台远离压片盘一侧设有支撑杆，载片台与支撑杆转动连接；还包括设置在载片台侧方的用于对晶圆边缘去边的去边喷嘴。本实用新型所述的去边机通过压片盘、载片台夹紧晶圆并带动晶圆旋转，同时再通过设置在载片台侧方的去边喷嘴对晶圆边缘部位进行周向的吹除，提高了工作效率同时提高了剔除质量，降低了废品率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212750817 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021647060.X (22)申请日 2020.08.10 (73)专利权人 天津天物金佰微电子有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >