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- 2023-02-21 发布于四川
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本实用新型提供了一种花篮固定组件，包括两个端板和设置在两个端板之间的水平设置的多个齿杆，所述端板上开设有供固定所述齿杆的固定槽，所述固定槽呈矩形状设置，且所述固定槽的延伸方向相对于所述端板的中心线倾斜设置，以便所述齿杆在所述固定槽内发生斜向位移，即同时在水平方向和竖直方向上移动，可以适应不同尺寸的硅片。相较于现有技术，本实用新型具有调整灵活化、调整数据化的特点，同时满足横向与纵向的调节，对于兼容各种尺寸的硅片具有非常重要的作用。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212750818 U
(45)授权公告日 2021.03.19
(21)申请号 202021758957.X H01L 21/673 (2006.01)
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