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应用于槽式显影机的芯片制造辅助组件及系统.pdfVIP

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  • 2023-02-21 发布于四川
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应用于槽式显影机的芯片制造辅助组件及系统.pdf

    本实用新型实施例提供的一种应用于槽式显影机的芯片制造辅助组件及系统，芯片制造辅助组件的第一传动件通过固定件固定连接于第二传动件，悬吊件固定连接于第一传动件，悬吊件远离第一传动件的一端设置有用于挂持芯片收容筐的挂持件。其中，第一传动件用于带动悬吊件沿第一方向作往复运动，第二传动件用于带动第一传动件沿第二方向作往复运动以间接带动悬吊件沿第二方向作往复运动。如此，悬吊件能够在第一传动件和第二传动件的互相配合下将挂持于挂持件的芯片收容筐交替地浸泡于槽式显影机所开设的显影槽和冲水槽中，从而实现芯片在显影槽

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212750815 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021553481.6 (22)申请日 2020.07.30 (73)专利权人 吉林麦吉柯半导体有限公司

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