一种具有随动控制结构的超滑传感器.pdfVIP

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2023-02-21 发布于四川
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一种具有随动控制结构的超滑传感器.pdf

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本新型提供了一种具有随动控制结构的超滑传感器，包括内置有半导体的基座，半导体具有平整的表面，上方设置有质量块。在质量块的下表面设置有一块或多块导电的超滑块，在质量块和超滑块之间具有随动控制结构。本新型实现了传感器可以在无外接电源或电池的情况下工作，提高能量转化效率和传感器灵敏度，极大延长器件的使用寿命。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212748029 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202020945737.1 G01D 5/14 (2006.01) (22)申请日 20