TPM分析和总结分析和总结.docx

IONIT Furnace TPM 文件集 IONIT Furnace TPM 文件集 目录 封面 共 P 1 设备维护保养记录表 共 P 2 季度保养记录表 共 P 3 年保养记录表 共 P 4 外围设备保养表 共 P 5-7 TPM手册 共 P 8-15 设备卡/维修记录 共 P 16 维修备件表 共 P 17 编制： 日期： 邵荣华 2014/9/12 Edited by: Shao Rong Hua 页 1 Date:2014/09/12 IONIT Furnace TPM 文件集加热热控电制检偶部查(分1真电1(-空1柜61点)检-温5火查)度氨检((9气1查-1氨1前-(249气)置)-保1卡过1养)套滤观人管器察签路(口1字过3玻-：滤炉3璃)器盖清真(密1洁空3封-(泵4圈9)-(检5氨9)-查气3各(泄49)压-露6冷力)(却1表3炉塔-(6盖1进)3水顶-风1流升)口电传润清气感滑机洁控器(柜(制9清1热-空5箱2洁-交)调6(()换1散91-器-热 IONIT Furnace TPM 文件集 ， 2014 备注 :(11-2)= 第十一页第二项  查( 11-3)  泵过滤器清洁( 9-8) 项目称 检查检电查阻须如及低需电一于要压小2及5进时度时行极更吹点限换扫火真清滤检空洁芯查确=(0认针.拆4人对m下b：1a检清#r,查洁2如#有炉变无子补形警)油即报拆或更声下换换检/吹油有查洗，无检氨滤功查(气针清芯能压是对洁清力否检1洁表#有查,/是2拆泄更润#否炉下露换滑柜正子清黄内常)水油拆灰清下尘洗松塑吹开料扫底外,部门壳接上吹口过洗 检查内容 ! IONI Revision: 02 Page 1 Edited by: Shao Rong Hua 页 2 Date:2014/09/12 1 2 3 年 4 5 月 6 7 设备 8 9 10 11 12 A 13 14 设备 15 16 17 18 19 张长 20 21 22 23 24 电话 25 26 27 28 29 30 31 IONIT Furnace TPM 文件集 Furnace季度保养记录表  FS 19.017.2 日期： 设备名称： 保养人： 保养项目 保养内容 预计时间 实际时间 完成情况 使用备件 备注 包括月保养所以内容2h 包括月保养所以内容 2h 氨气分子筛更换(1#,2#,5#) 0.5h 检查空调冷凝水排水口 0.5h 绝缘更换 1.5 油压顶升机构导杆加油 0.5h 真空检漏=0.3mbar 1h 更换真空泵油 0.5h 真空过滤网更换 0.5 T1,T2,T3,T4检查,如需要及时更换. 1h 炉盖密封圈检查,如需要及时更换. 1h 检查可控硅加热时输出电压 0.2 加热丝电阻测试 0.2 各风机及马达线圈测试 1h 检查点火装置的可靠性 0.2h 清洁天然气管道(1#,2#炉子) 0.5h 检查6L/H 水流量 0.5h 真空系统 温控部分密封件 电气控制 废气系统 纯水 检查超纯水及输出水口水质(电导率及PH值)0.5h 检查炉盖上DI water 导入口是否正常 Edited by:tang Date: May 22,2014 0.5h  Revision: 02 Page 2 Edited by: Shao Rong Hua 页 3 Date:2014/09/12 IONIT Furnace TPM 文件集 Furnace年保养记录表  FS 19.017.3 时间： 名称： 保养项目  保养内容 保养人： 预计时间  实际时间 完成情况  使用备件 备注 包括季度保养内容 8h 整体 温控部分 流量计真空泵 电气控制 根据情况更换纯水单向阀 更换机柜空调过滤棉炉盖液压箱换油 更换校验过T4 检查或更换热电偶 校验气体流量控制器初级+罗茨泵保养 电箱内接线端子紧固系统测试 0.5h 0.5h 0.5h 1h 0.5 1h 8h 1h 3h 循环水系统 循环水管道清洁 4h 炉子内胆清洁 8h Edited by:tang Date: May 22,2014 Revision: 02 Page 3 Edited by: Shao Rong Hua 页 4 Date:2014/09/12 ， 文件集2014 文件集 IONIT Furnace TPM 项目 拆下用清氮紧洁气固保清冲所养洁洗测有检加试接清查热压线洁有器力端过问子滤题器立测内即量过部更电滤并清换阻器更洁是保至换滤否养减滤芯正电压芯常磁拍阀阀下段检急管查吹停路过扫设检滤并备查器检除需氨前查尘立气后压即瓶压力停间差是止,否汽供在化气正间常有位无 检查内容与标准氨气站 1 2 3 年 4 5 月 6 7 设备等级 8