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一种可调整型压爪结构和夹具.pdfVIP

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  • 2023-02-21 发布于四川
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一种可调整型压爪结构和夹具.pdf

    本申请实施例属于半导体加工设备技术领域，涉及一种可调整型压爪结构和夹具。本申请提供的技术方案包括安装板、压爪座及压爪；所述压爪座设于所述安装板上，所述压爪设于所述压爪座上并能够沿竖直方向产生形变，以改变所述压爪在竖直方向的位置。压爪安装在卡槽与安装板之间，通过调节件的调节，使压爪产生形变，改变压爪在竖直方向的位置，从而使压爪能够实现上下调节的目的。降低了对压爪的加工要求，降低了成本，提高了压爪的适配能力，并且压爪在长期使用受到磨损后，经过调节可继续使用，极大地增加了压爪的使用寿命。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212750850 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021558319.3 (22)申请日 2020.07.29 (73)专利权人 深圳市开玖自动化设备有限公司

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