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一种高纯锗烷的纯化生产装置.pdfVIP

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  • 2023-02-21 发布于四川
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一种高纯锗烷的纯化生产装置.pdf

    一种高纯锗烷的纯化生产装置，包括碱洗器、冷凝器、1#吸附器、2#吸附器和冷阱。碱洗器通有碱性液体，用于去除锗烷粗品中的酸性气体，碱洗器的气体输出端连通于冷凝器的气体输入端。冷凝器用于去除水分，冷凝器的气体输出端连通于1#吸附器的气体输入端。1#吸附器内装填有第一吸附剂，用于去除水分，1#吸附器的气体输出端连通于2#吸附器的气体输入端。2#吸附器内装填有第二吸附剂，用于去除水分和含锗杂质，2#吸附器气体输出端连通于冷阱的气体输入端。冷阱用于脱除氢气、氮气、氧气、氩气和一氧化碳杂质。通过设置多个纯化

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212740763 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021564168.2 (22)申请日 2020.07.31 (73)专利权人 广东华特气体股份有限公司

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