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一种满足大尺寸硅片的烧结炉.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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一种满足大尺寸硅片的烧结炉.pdf

    本实用新型涉及烧结炉技术领域，且公开了一种满足大尺寸硅片的烧结炉，包括炉体，所述炉体的左右两侧均开设有开口，所述开口的内部设置有网带输送机，所述炉体内壁的前后两侧均固定连接有红外加热灯管，所述红外加热灯管位于网带输送机的上下两侧，所述炉体的底部固定连接有支撑柱，所述炉体的底部开设有气孔，所述气孔的内壁固定连通有进气管，所述进气管的表面固定连通有导气板，所述导气板的上表面开设有导气槽。本实用新型通过设置两个进气管，使炉体内的气场可根据需要进行调节，进而该烧结炉对较大硅片的烧结效果，同时，在导气板、

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212778587 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021395815.1 (22)申请日 2020.07.15 (73)专利权人 环

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