一种微波腔体组件.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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本申请涉及一种微波腔体组件,涉及光纤预制棒加工技术领域,该微波腔体组件用于加工石英反应管,石英反应管内设有等离子体负载,微波腔体组件包括:谐振腔壳体,开设有圆柱形谐振腔,谐振腔壳体底部开设有波导入口;耦合装置,其包括具有第一耦合孔的耦合波导和具有第二耦合孔的立柱波导,耦合波导一端与波导入口连通,另一端与立柱波导连通;第一耦合孔的尺寸被配置为使负载反射系数S11持续保持不大于第一阈值。本申请,随着石英反应管的管壁厚度增加,等离子体负载变化对微波能量耦合的影响较小,负载反射系数S11仍维持在较低的水

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212783746 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021547765.4 (22)申请日 2020.07.30 (73)专利权人 烽火通信科技股份有限公司

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