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- 2023-02-22 发布于四川
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本实用新型提供的一种晶圆抛光检测工装，包括工作台、固定支撑架、旋转电机、旋转平台、夹紧销和检测组件；固定支撑架位于工作台上，与固定台固定连接；旋转电机位于工作台的下方，主轴向上延伸；旋转平台位于固定支架上，与旋转电机相连接，跟随旋转电机旋转；夹紧销位于旋转平台上，与旋转平台固定连接，同时对应待检测的晶圆；检测组件位于旋转平台的一侧；与工作台固定连接，对应旋转平台。本实用新型提供的一种晶圆抛光检测工装，通过旋转电机带动旋转平台旋转，利用红外感应器设定平面范围，晶圆在范围内旋转，一旦超出范围就会形成
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212779096 U
(45)授权公告日 2021.03.23
(21)申请号 202021129019.3
(22)申请日 2020.06.17
(73)专利权人 苏州市兆丰精密机械有限公司
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