原创力文档- 5
- 0
- 约9.67千字
- 约 10页
- 2023-02-22 发布于四川
- 举报
本实用新型公开了一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块，涉及静压技术领域，包括：静压滑块和与之配合的导轨，所述静压滑块包括本体、压电陶瓷驱动器、静压油垫、薄膜、挡板和位移传感器。所述薄膜与导轨之间形成油垫间隙，可通过控制压电陶瓷驱动器实现对油垫间隙大小的主动控制。所述位移传感器位于本体内静压滑块与导轨配合处，以测量静压滑块与导轨的配合间隙，作为控制的反馈信号。有益效果是，实现对油垫间隙的实时控制，以适应导轨加工误差和外部载荷变化，显著提高滑块的运动精度。通过对薄膜和静压油垫采用压力油进行预压
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212762142 U
(45)授权公告日 2021.03.23
(21)申请号 202021225706.5
(22)申请日 2020.06.29
(73)专利权人 青岛科技大学
地址
文档评论（0）