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- 2023-02-22 发布于四川
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一种晶圆切方用辅助工具，包括基台、安装底座、限位块、安装台、粘接块、沉孔、固定螺栓、拉手，所述基台为矩形结构，其上开设有安装孔，所述基台底部设有安装底座，所述安装底座底部设有限位块，所述基台、安装底座、限位块之间通过螺栓固定连接，所述基台顶部商设有安装台，所述安装台外周等间距设有沉孔，通过将固定螺栓穿过沉孔及安装孔实现安装台与基台的固定连接，所述安装台顶部设有粘接块，所述粘接块通过粘接的方式与安装台固定连接，所述基台的一端设有U型结构的拉手。本实用新型结构简单，可对晶圆棒进行可靠定位，只需两次切
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212763655 U
(45)授权公告日 2021.03.23
(21)申请号 202021354614.7
(22)申请日 2020.07.11
(73)专利权人 天津众晶半导体材料有限公司
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