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- 2023-02-22 发布于四川
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本申请公开了一种封装件,包括:基板,具有声孔和环绕所述声孔的凹槽;MEMS芯片,包括具有空腔的衬底、形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔的振膜,其中,所述衬底的下方具有环绕所述空腔的凸起,所述凸起与所述凹槽匹配卡合;粘合剂,涂覆在所述凸起的外侧壁和所述基板上以粘合所述MEMS芯片和所述基板。本申请的MEMS芯片的凸起与基板的凹槽相卡合定位,避免两者位置偏移。另外,由于粘合剂形成在凸起的外侧壁,凸起类似于粘合剂的隔断层,从而尽可能避免了粘合剂进入到MEMS芯片的空腔内的溢胶的异常现象。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218499272 U
(45)授权公告日 2023.02.17
(21)申请号 202221482444.X
(22)申请日 2022.06.13
(73)专利权人 安徽奥飞声学科技有限公司
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