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- 2023-02-22 发布于四川
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本实用新型提供一种多工位化学气相沉积炉。多工位化学气相沉积炉，包括：炉体；空心管，所述空心管固定安装在炉体内，所述空心管的一端延伸至炉体外；送料筒，所述送料筒滑动安装在空心管内；第一电机，所述第一电机固定安装在炉体的一侧；第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮固定安装在第一电机的输出轴上；内螺纹套筒，所述内螺纹套筒转动安装在空心管内，所述内螺纹套筒的一端延伸至炉体外；第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮固定套设在内螺纹套筒上，所述第一锥形齿轮与第二锥形齿轮啮合；外螺纹管，所述外螺纹管螺纹安装在内螺纹套筒内。本
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212770943 U
(45)授权公告日 2021.03.23
(21)申请号 202021300747.6
(22)申请日 2020.07.06
(73)专利权人 湖南铠欣新材料科技有限公司
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