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平面波导型光分路器的加工装置.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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平面波导型光分路器的加工装置.pdf

    本实用新型涉及光分路器的技术领域，尤其涉及一种平面波导型光分路器的加工装置。这种平面波导型光分路器的加工装置包括一侧面敞开的箱体，箱体中间处设有用于放置晶圆的固定板，箱体的上端设有可上下调节的压板，箱体上端设有上UV点光源、下端设有下UV点光源。这种平面波导型光分路器的加工装置的结构简单，压板调节方便，同时上下光源保证照射更加均匀。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212781326 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021415352.0 (22)申请日 2020.07.17 (73)专利权人 常州凌凯特电子科技有限公司

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