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- 2023-02-23 发布于四川
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本实用新型提供一种类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒相邻面等光程成像检测装置，包括光源、纵向同轴设置的相机、远心成像镜头、半透半反射平行平板合像器以及玻璃载物转盘、半导体晶粒，半透半反射平行平板合像器同一水平高度设置有平行平板补偿器及位于半导体晶粒正上方的天面直角转向棱镜，半导体晶粒同一水平高度与半透半反射平行平板合像器正下方设置有侧面直角转向棱镜，该装置在满足双面成像完全等光程共焦的条件下，获得相邻面的空间分离成像，能通过调节平行平板补偿器与光轴的夹角来校正补偿误差，从而可以实现半导体晶粒相邻双面同时
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212808013 U
(45)授权公告日 2021.03.26
(21)申请号 202021549292.1
(22)申请日 2020.07.30
(73)专利权人 泉州师范学院
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