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跨尺度激光三坐标测量装置.pdfVIP

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  • 2023-02-23 发布于北京
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跨尺度激光三坐标测量装置.pdf

    本发明公开了跨尺度激光三坐标测量装置，其包括：利用线激光扫描装置对测量平台上的待测物进行扫描，采用非接触式激光三角测距法对被测物进行测量，避免因接触受力使被测物产生形变而引起的误差；利用宏微混合驱动技术实现跨尺度范围内的位移及高分辨率运动，提高精度，减少高频微动造成的导轨表面磨损。基于上述跨尺度三坐标测量装置满足工业上对于测量检测在跨尺度方面的需求。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212806939 U (45)授权公告日 2021.03.26 (21)申请号 202021322700.X (22)申请日 2020.07.08 (73)专利权人 中国计量大学 地址

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