第三章传感器课件.ppt

第3章　电容式传感器;　　3.1 电容式传感器的工作原理及特性　 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为;　　当被测参数变化使得式（3-1）中的A、 d或ε发生变化时， 电容量C也随之变化。 如果保持其中两个参数不变， 而仅改变其中一个参数， 就可把该参数的变化转换为电容量的变化， 通过测量电路就可转换为电量输出。 因此， 电容式传感器可分为变极距型、 变面积型和变介电常数型三种。 电容式传感器的电极形状又有平板形、 圆柱形和球面形(较少采用)三种。 图3-1所示为常用电容器的结构形式， 其中， 图(b)、 (c)、 (d)、 (f)、 (g)和(h)为变面积型， 图(a)和(e)为变极距型， 而图(i)～(l)则为变介电常数型。 ;;3.1.1 变极距型电容式传感器　　图3-2为变极距型电容式传感器的原理图。 　　当传感器的ε和A为常数， 初始极距为d0时， 由式（3-1）可知其初始电容量为 ;;;　　测量时， 一般将平板电容的一个极板固定（称为定极板）， 另一个极板与被测物相连（称为动极板）。 若电容器极板间距离由初始值d0缩小了Δd， 则电容量增大ΔC， 有;当Δdd0时， 式（3-4）可以展开为级数形式， 即;　　由式（3-4）可知， 电容的相对变化量ΔC／C0与输入位移Δd之间的关系是非线性的， 只有当Δdd0时， 才可认为是近似的线性关系。 所以变极距型电容式传感器在设计时要考虑满足Δdd0的条件， 且一般Δd只能在极小的范围内变化。 此时， 电容式传感器的灵敏度为;非线性误差为;;　　此时实际上相当于云母和空气介质两个电容器的串联（dg为云母的厚度）。 云母片的相对介电常数（εg）是空气(ε0)的7倍， 其击穿电压不小于1000 kV/mm， 而空气仅为3 kV/mm。 因此有了云母片， 极板间起始距离可大大减小。 一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在20～100 pF之间， 极板间距离在25～200 μm的范围内， 最大位移应小于间距的1/10， 故在微位移测量中应用最广。;3.1.2 变面积型电容式传感器 　　图3-5（a）是变面积型电容传感器测直线位移结构示意图。 被测量通过动极板移动引起两极板有效??盖面积A改变， 从而得到电容量的变化。 当动极板相对于定极板沿长度方向平移Δx时， 则电容变化量为;　　由式（3-9）可知， 电容的变化量和位移的变化量成线性关系。 　　图3-5（b）是电容式角位移传感器原理图。 当动极板有一个角位移θ时， 与定极板间的有效覆盖面积就发生改变， 从而改变了两极板间的电容量。 ;;　　当θ=0时， 则 ;3.1.3 变介电常数型电容式传感器　　根据前面的分析可知， 介质的介电常数将影响电容式传感器的电容量大小， 不同介质的介电常数各不相同。 在106 Hz频率下， 一些典型介质的相对介电常数如表3-1所示。 ;　　图3-6是一种变极板间介质的电容式传感器用于测量液位高低的结构原理图。 设被测介质的介电常数为ε1， 液面高度为h， 变换器总高度为H， 内筒外径为d， 外筒内径为D，此时相当于两个电容器的并联。 此时变换器电容值为;;;3.1.4 差动电容式传感器　　根据前面的分析可知， 变面积型电容式传感器和变介电常数型传感器的输入量与输出的电容量间的关系均为线性， 只有变极距型电容式传感器的输入量与输出量间存在非线性关系。 在实际应用中， 为了提高灵敏度和减小非线性误差， 通常采用差动结构， 如图3-7所示。 ;;当中间的动极板向上移动Δd时， 有;　当Δdd0时， 式（3-15）和式（3-16）可以展开为级数形式， 即;所以， 有;灵敏度：;3.1.5 电容式传感器的性能改善　　1. 边缘效应　　电容器两极板的电场分布在中心部分是均匀的， 但到了边缘部分是不均匀的， 因此边缘效应使设计计算复杂化、 产生非线性以及降低传感器的灵敏度。 消除和减小边缘效应的方法是在结构上增设防护电极， 防护电极必须与被防护电极取相同的电位， 如图3-8所示。;;　　2. 寄生电容　　电容式传感器除了极板间的电容外， 极板还可能与周围物体（包括仪器中的各种元件甚至人体）之间产生电容联系， 这种电容称为寄生电容。 因为传感器本身电容很小， 所以寄生电容可能使传感器电容量发生明显改变； 而且寄生电容极不稳定， 从而导致传感器特性的不稳定。 为了克服上述寄生电容的影响， 必须对传感器进行静电屏蔽， 即将电容器极板放置在金属壳体内， 并将壳体良好接地。 ;　　出于同样原因， 其电极引出线也必须用屏蔽线，且屏蔽线外套须同样良好接地， 但屏蔽线本身的电容量较